Die Geschichte des Schlosses reicht bis in das frühe 13. Jahrhundert und ist als Burg im Zuge des hochmittelalterlichen Landesausbaus entstanden. Aus alten Dokumente geht hervor, dass Finsterwalde Anfang des 15. Jahrhunderts ein gut befestigtes, massives Schloss besaß. Die damalige Befestigungsanlage bestand vermutlich aus Holz, Stein und anderen vergänglichen Baustoffen und war mit Palisaden, Wassergraben und Erdwällen versehen. Am heutigen Schlossbau sind noch Reste aus dieser Zeit sichtbar. Im 15. Jahrhundert übernahm die Familie Maltitz die Schlossherrschaft. Die Einrichtung des Schlosses wird dem Ritter Heinrich von Maltitz zugeschrieben. 1533 ging das Schloss in das Eigentum der Familie von Dieskau über, dessen Schlossherr Bergrat Otto II. von Dieskau in der 2. Hälfte des 16. Jahrhunderts umfangreiche Umbau- und Erweiterungsmaßnahmen durchführen ließ. Die Gestaltung des Schlosses orientierte sich zu der gegenwärtigen Rekonstruktionsphase am Stil der Renaissance, dessen Erscheinungsbild bis zur heutigen Zeit erhalten geblieben ist.